| 氣體流量 | 1-5 Nl/min |
| 工作壓力 | 1 MPa (10 barg)， 高壓可選，zui高到 21 MPa (210 barg) |
| 顆粒過濾 | 0.3 微米，99.5% 去除率 |
| 密封防護(hù) | IP66 (NEMA 4X) |
| 工作溫度 | -40 ~ +60°C (或由傳感器指標(biāo)決定) |
| 存儲(chǔ)環(huán)境 | -40 ~ +70°C， 0-95% RH，無凝露 |
| 重量 | 1.1kg (1.3kg 傳感器安裝后) |
| 真空度 | 標(biāo)準(zhǔn)的快速接頭不支持負(fù)壓測量 |
| 材質(zhì) | 套筒及保護(hù)帽： 316 不銹鋼
流量控制模塊： 鋁質(zhì)
接頭：鍍鎳黃銅s |
| 氣體連接 | 快速接頭，適用于 6mm 外徑塑料管 (推薦 PTFE 或 FEP) |
| 樣氣管路 | 提供 0.5m 排空管，以消除反向濕氣滲透影響 |
| 傳感器安裝口 | 5/8” UNF，支持所有 Michell 的阻抗式傳感器 |
| 選件: |
采樣管路 6mm 外徑厚壁 PTFE 采樣管，根據(jù)用戶要求提供長度
過濾備件 十個(gè)一包裝的過濾器濾芯，0.3 微米， 99.95% 去除率
高壓配置 6mm 外徑接頭 和高壓型流量閥，根據(jù)訂單提供
流量計(jì) 顯示范圍為常壓下 1 ~ 5 l/min，安裝于系統(tǒng)的出口處
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